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內、外層精細線路干膜曝光

產品特點及優勢:

★精細線路加工專門機型,最小解析能力可達15/15μm,滿足mSAP工藝需求

★搭配自主的超級算法的DMD控制系統,成就高解析度高效率加工

★曝光工序全數字化作業,跨入工業4.0智能制造

產品性能
  • 最大曝光尺寸

    大臺面:24.5""×28.5”
    標準臺面:22""×24.5"

  • 板厚

    單機:0.05-5.0mm
    連線:0.075-2.5mm

  • 對位精度

    ±10 μm

  • 層間對位精度

    ±20 μm

  • 光源

    405nm

  • 景深

    ±300 μm

  • 線寬精度

    ±10%

  • 適配性

    適配于智能制造系統

設備安裝使用環境
  • 外形尺寸(連線,含收放板)

    8542mm X 3200mm X 2200mm(L X W X H)

  • 外形尺寸(單機)

    3010 X 1898 X 2200(L X W X H)

  • 承重需求

    750KG/㎡

  • 電力需求

    3*380AC+N+P,80A

  • 耗電功率

    單機4KW/整機9KW

  • 環境溫濕度

    22±1℃/55±5%

  • 環境潔凈度

    Class 10000

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